DAS Environmental Expert公司通過在工藝腔室的沉積過程以及之后的清潔階段采用可靠的廢氣處理系統(tǒng)，確保當(dāng)涉及太陽能模塊制造業(yè)在批量生產(chǎn)時，生產(chǎn)設(shè)備維持長時間的正常運行并滿足最佳的沉積質(zhì)量的需要。由于a-Si/μc-Si CVD生產(chǎn)設(shè)備使用大量的SiH4、H2、NF3和TMB、PH3作為摻雜氣體，但這些工藝氣體都是自燃、易爆或者危害環(huán)境的。因此，DAS堅持工藝廢氣必須通過燃燒濕法洗滌處理，并利用靜電除塵裝置進(jìn)行粉塵清除。

 

DAS同樣為中國最大的薄膜太陽能ThinFab客戶提供以上的解決方案。Oerlikon (現(xiàn)稱TEL) KAI采用了DAS的UPTIMUM廢氣處理系統(tǒng)，該系統(tǒng)還可通過智能軟件控制管理提供設(shè)備之間的備份，同時添加了EDC (靜電除塵裝置) 系統(tǒng)來收集處理廢氣中出現(xiàn)粉塵。DAS對廢氣處理裝置的效率進(jìn)行了超過1周的測量，結(jié)果表明其在去除效率 (DRE) 方面性能卓越。得益于強(qiáng)大密集的現(xiàn)場服務(wù)支持，使得DAS設(shè)備的性能提升了600%，將平均維護(hù)間隔時間延長到6個月以上。這再一次證明了DAS的廢氣處理系統(tǒng)可以順利匹配工藝生產(chǎn)設(shè)備的維護(hù)周期。

 

DAS在中國薄膜太陽能行業(yè)有著的杰出表現(xiàn)。這項項目運行期間，DAS一如既往的提供迅速的響應(yīng)反映時間和強(qiáng)大的現(xiàn)場服務(wù)支持。 該客戶項目負(fù)責(zé)人說:“廢氣處理系統(tǒng)超長的正常運行時間和>99%的除塵效率，幫助我們達(dá)成了制造流程中的質(zhì)量和安全目標(biāo)。”

 

廢氣處理系統(tǒng)UPTIMUM采用了燃燒/濕洗技術(shù)，針對不同行業(yè)內(nèi)的CVD工藝生產(chǎn)設(shè)備進(jìn)行優(yōu)化，最多支持六個獨立進(jìn)氣口。該系統(tǒng)可使用多種助燃?xì)怏w和提供處理酸堿的不同濕洗方法。

 

EDC PLUS是一款靜電除塵裝置，用于處理諸如太陽能電池或平板顯示器制造等行業(yè)產(chǎn)生的含有細(xì)小粉塵或氣霧的廢氣，處理量可達(dá)270 m3/h。除塵裝置可以顯著減少細(xì)小粉塵排放，其微粒去除效率甚至可達(dá)99.9%，能有效防止排氣系統(tǒng)堵塞。